詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【真空泵廠家】滑閥泵排氣過(guò)濾器的安裝過(guò)程如下
滑閥泵排氣過(guò)濾器的安裝過(guò)程如下:1.?先在總成上面安裝過(guò)濾器壓力表,壓力表可以實(shí)時(shí)監(jiān)控真空泵的壓力,同時(shí)也可以通過(guò)數(shù)據(jù)知道什么時(shí)候應(yīng)該換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標(biāo)簽的環(huán)節(jié),也是一個(gè)小小的說(shuō)明書(shū)以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認(rèn)真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長(zhǎng)高效的壽命。4.?初濾芯安裝
旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)
【雕刻機(jī)真空泵】真空泵的總體結(jié)構(gòu)式
真空泵的總體結(jié)構(gòu)式:真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu):?1、立式結(jié)構(gòu):進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵;?2、?臥式結(jié)構(gòu):泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,除接排氣管道一
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