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【國產(chǎn)真空泵】真空泵系統(tǒng)的基本要求都是有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
旋片式真空泵維修方法:1、在進行真空泵維修之前,準(zhǔn)備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運轉(zhuǎn)時間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請用戶**清洗,并告知必要的防護措施,以**維修人員的健
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣法蘭
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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