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旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請您仔細詳閱使用說明,嚴格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標2/3,后從進氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵在冰箱制冷系統(tǒng)維修中的作用有3個:①將維修時殘存在制冷系統(tǒng)內(nèi)部的不凝性氣體抽出,對系統(tǒng)進行真空和干燥處理。②對系統(tǒng)進行真空撿漏,以負壓形式檢測系統(tǒng)的真空狀態(tài)。③為充注制冷劑做準備。電冰箱制冷系統(tǒng)維修時使用的真空泵為旋片式(圖5-27)。圖5-27 旋片式真空泵(a)外形 (b)內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意 1.進氣口 2.偏心轉(zhuǎn)子 3.旋片 4.彈簧 5.泵體 6.排氣口真空泵的使用方法:每次使用真空泵前要
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進氣溫度太高,進氣冷
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