詞條
詞條說(shuō)明
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時(shí),將散熱油管及其它油路管拆卸下來(lái)進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時(shí),必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時(shí)需更換油路管。因?yàn)?,?dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會(huì)有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時(shí)處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達(dá)到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時(shí)小心對(duì)待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)1、**命葉片2、低噪音水平3、易維護(hù)4、能忍受較高水蒸氣5、保養(yǎng)周期長(zhǎng)產(chǎn)品特點(diǎn)1、低噪音,低震動(dòng),工作環(huán)境不會(huì)受影響?。2、內(nèi)置高效油霧過(guò)濾器,所排出的氣體不含油霧。????????????????? 
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
使用旋片式真空泵操作須知1、真空泵在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生高溫(40度-80度)。因此操作或停止運(yùn)行后,在電機(jī)和泵體冷卻到正常溫度以前,不能觸摸表面。2、工作時(shí)發(fā)生緊急情況,立即關(guān)閉總電源后保修解決。3、設(shè)備若異常應(yīng)立即停止運(yùn)行,禁止強(qiáng)灌,持續(xù)工作。4、非維修人員嚴(yán)禁拆卸真空泵零部件。5、維護(hù)保養(yǎng)設(shè)備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點(diǎn),防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。
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