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詞條說明
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn),并且同時(shí)保留了羅茨泵能*的工作,優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺機(jī)械式真空泵,因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝
潤滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的較重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很*氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的
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