【真空泵水環(huán)泵】的優(yōu)點(diǎn)及缺點(diǎn)

時(shí)間：2021-07-29作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：125

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  羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真

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  【單級(jí)真空泵旋片式】定期檢修維護(hù)須知單級(jí)真空泵油隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時(shí)替換泵油。替換泵油的周期：每六個(gè)月?lián)Q油清洗一次。泵油替換步驟如下：1、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運(yùn)行。泵內(nèi)剩下的泵油*被排除。2、先拆下排氣管，在打開放油閥，然后倒出泵油。3、關(guān)閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入。4、如果泵油的污染非常嚴(yán)重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運(yùn)轉(zhuǎn)使

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