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詞條說明
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當它**泵溫下的飽和蒸汽壓時,即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結在泵油中。另外,當密閉泵口運轉時,已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結物或氣相就會溶于油中的物質,又會在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質,從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結構上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時油
普旭真空泵使用說明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側油位以油面浸沒3-5齒為宜,電機側以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應缺油,各部位潤滑油均采用1號真空泵油。?????1、真空泵啟動程序:?????(1)啟動前級泵。??
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵不能啟動:主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分,如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后,應考慮以下兩個因素:?1、電機燒壞:主要為電機定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機功率加大,引起溫度上升,燒毀電機。這時應先檢查電機軸承,再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承;電機線
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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