詞條
詞條說明
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機(jī): 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號(hào)10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
聯(lián)系人: 黃先生
手 機(jī): 17502155678
電 話: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號(hào)10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com