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高低溫液體循環(huán)裝置在實(shí)驗(yàn)室中的應(yīng)用


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  • 詞條

    詞條說(shuō)明

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    在芯片制造過(guò)程中,淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller作為一種關(guān)鍵設(shè)備,發(fā)揮著一定作用。本文將對(duì)芯片制造工藝中的淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller進(jìn)行詳細(xì)介紹。 一、淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller的作用 淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller在芯片制造工藝中主要起到冷卻作用。在芯片制造過(guò)程中,各種設(shè)備產(chǎn)生的熱量較高,如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等,如果熱量控制不當(dāng),將會(huì)影響芯片的制造質(zhì)量和效率。淺溝道

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    化工循環(huán)水冷凍機(jī)發(fā)生故障需要及時(shí)解決,那么常見(jiàn)故障怎么解決呢? 一、化工循環(huán)水冷凍機(jī)油壓差報(bào)警 一個(gè)是長(zhǎng)期運(yùn)行在低負(fù)荷工況下,會(huì)發(fā)生報(bào)警,保持機(jī)組的滿(mǎn)負(fù)荷運(yùn)行。還有就是冷卻水溫度低于20度,靠壓差供油已經(jīng)難以維持就會(huì)發(fā)生報(bào)警。在說(shuō)一下油壓差故障會(huì)有哪幾種情況,一是換熱器或油壓傳感器失靈,需要進(jìn)行校驗(yàn)并更換。二是內(nèi)外的過(guò)濾器堵塞,要更換新的過(guò)濾器。三是供油電磁閥失靈,檢查一下線(xiàn)圈。 二、化工循環(huán)水

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