專**詞解釋

時間：2020-01-05作者：深圳鴻研電子科技有限公司瀏覽：1466

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  詞條說明

• 離子源控制系統(tǒng)

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  項目簡介： 為了因應(yīng)較高速高效能的芯片技術(shù)，半導(dǎo)體制程的線寬技術(shù)不斷的演進(jìn)到奈米等級，在半導(dǎo)體制程中的后段制程，也因此必須提供單位時間內(nèi)較大量的產(chǎn)出與較短的生產(chǎn)周期。藉由半導(dǎo)體制程所產(chǎn)出的商品涵蓋多樣化，包含閃存、邏輯芯片、模擬芯片等等，為因應(yīng)此技術(shù)與市場的趨勢，在半導(dǎo)體后端制程中，將多個制程整合成為單一機臺，簡化制程產(chǎn)線的機臺種類，亦可以大幅提升制程的周期縮短。且此整合生產(chǎn)的機臺也必須提供較高