光學(xué)微電子行業(yè)無塵車間空氣參數(shù)要求

時間：2018-09-20作者：山東星月凈化工程有限公司瀏覽：119

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  詞條說明

• 設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機（PAL）來保證房間溫度

  設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機（PAL）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散流器**送風(fēng)方式；室外機放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（大氣塵計數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm粒子）。 3 磨片檢查室有溫度和濕度控制要求，設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機（PAL）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散

• 無塵車間平面布置劃分的三大區(qū)域及特點

  無塵車間的設(shè)計要合理布置工藝流程和建筑平面 ，選擇滿足無塵車間特點的建筑構(gòu)造和材料，無塵車間設(shè)計應(yīng)一根據(jù)當(dāng)?shù)啬茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源，劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)，選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備，不管是新建還是改造的無塵車間，要嚴(yán)格按照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范進(jìn)操作。 無塵車間分潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。 無塵車間的平面布置有外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，參觀和放置一些設(shè)備用，有的在

• 防止外部污染物進(jìn)入潔凈室而使室內(nèi)潔凈度增高

  壓差調(diào)試：為防止外部污染物進(jìn)入潔凈室而使室內(nèi)潔凈度增高，要求室內(nèi)壓力保持**外部壓力也就是說在潔凈室內(nèi)要求不同潔凈度房間必須保持一定壓力梯度，這樣可在室內(nèi)維持一定的壓差下有效避免潔凈室被鄰室污染或污染鄰室。壓差調(diào)試的過程為保證潔凈室換氣次數(shù)及設(shè)備排風(fēng)和除塵效果，盡量不改變送風(fēng)量及設(shè)備排風(fēng)機和除塵風(fēng)機的風(fēng)量。主要通過調(diào)節(jié)回風(fēng)量和系統(tǒng)排風(fēng)量進(jìn)行壓差調(diào)整?！稘崈羰以O(shè)計規(guī)范》明確說明潔凈室室內(nèi)壓力保持高

• 自控裝置保證全程調(diào)節(jié)

  自控裝置保證全程調(diào)節(jié)目前，有的生產(chǎn)廠家采用手動方式進(jìn)行控制風(fēng)量和風(fēng)壓的調(diào)節(jié)，但由于控制風(fēng)量和風(fēng)壓的調(diào)節(jié)閥均在技術(shù)隔層，而且吊頂也都是彩鋼板的軟吊頂，基本上都是在安裝調(diào)試時調(diào)好，此后，大都沒再調(diào)節(jié)過，實際上也無法調(diào)節(jié)。為確保潔凈廠房的正常生產(chǎn)和工作，應(yīng)設(shè)置一套較完整的自控裝置，實現(xiàn)以下功能：潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監(jiān)控、風(fēng)閥調(diào)節(jié)；高純氣體、純水和循環(huán)冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測；氣體純度、