詞條
詞條說明
1.采用符合要求的材料建造潔凈室。潔凈室的墻壁、地面、頂棚應不產(chǎn)塵、少積塵、不易孳生菌類、無接縫或少接縫且接縫應嚴密。符合要求的材料有彩鋼夾芯復合板、電解鋼板加涂層、人造石材板等。地面材料有環(huán)氧樹脂自流平地面、PVC防靜電地板、水磨石地面等。 2.選用符合潔凈室要求的設備。目前的情況是:有相當比例的工藝設備不符合潔凈室的要求,表現(xiàn)為表面凹凸不平、易產(chǎn)生積塵、污染環(huán)境??稍谠O備安裝后,在不影響使用
隨著微電子、集成電路工業(yè)的高速發(fā)展,潔凈廠房對空氣潔凈度的要求越來越高,要求控制塵粒的粒徑到0.1μm以下,為了與**接軌,新規(guī)范等同采用**標準ISO14644-1中的有關規(guī)定,空氣潔凈度等級從4個等級增加為9個等級,即1級、2級…9級。 規(guī)范中對潔凈空氣所流流型的選擇也作了明確的規(guī)定“對于空氣潔凈度等級要求1~4級時,應采用垂直單向流;空氣潔凈度等級要求為5級時,應采用垂直單向流或水平單向流
物料凈化路線與人凈路線應分開,如果物料與人員只能在同一處進入無塵車間,也必須分門而入,物料并先經(jīng)過粗凈化處理。 對于生產(chǎn)流水線不強的場合在物料路線中間可設中間庫。 如果生產(chǎn)流水線很強,則采用直通式物料路線,有時還需要在直通路線中間設多次凈化、傳遞設施。 在系統(tǒng)設計上,物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒,所以相對潔凈區(qū)應保持負壓或零壓,如果污染危險性大則對入口方向也要保持負壓。 洲上
1、潔凈室內(nèi)部的裝修材料應盡量避免采用在燃燒時產(chǎn)生大量濃煙和有毒氣體的高分子合成材料。根據(jù)“潔凈廠房設計規(guī)范”規(guī)定:潔凈室吊頂和隔墻(包括夾心材料)應為不燃燒體,且不得采用**復合材料。頂棚的耐火極限不應**0.4 h,疏散走道的耐火極限不應**1.0 h。 2、特別要重視參觀走廊的隔墻(包括大面積玻璃窗)的耐火極限問題。 3、技術豎井的井壁的耐火極限也不應**1.0 h。 洲上凈化科技有限公司
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